1、高稳定度x射线源提供测量所需的x射线，改变管阳极靶材质可改变波长，调节阳极电压可控制x射线源的强度。
2、样品及样品位置取向的调整机构系统样品须是单晶、粉末、多晶或微晶的固体块。
3、射线检测器检测衍射强度或同时检测衍射方向，中能x射线发生装置，通过仪器测量记录系统或计算机处理系统可以得到多晶衍射图谱数据。
4、衍射图的处理分析系统，现代x射线衍射仪都附带安装有衍射图处理分析软件的计算机系统，它们的特点是自动化和智能化。
给阴极加上一定的电流被加热时，便能放出热辐射电子。在数万伏特高压电场的作用下，这些电子被加速并轰击阳极（又被称为靶）。阳极靶面上受电子束轰击的焦点呈细长的矩形状（称线焦点或线焦斑），中能x射线发生装置报价，从射线出射窗中心射出的x射线与靶面的掠射角为3°-6°。从出射方向垂直焦斑长边的两个出射窗口观察，焦斑呈线状的称为线光源；从另外两个出射窗口观察，焦斑如点状称为点光源。在衍射仪每次安装管子时，中能x射线发生装置供应商，必须辨别所使用x射线出射窗口是否为线焦点方向。此外，还要求测角仪相对于靶面平面要有适当的倾斜角。
现代生活的每个环节都得益于涂层或薄膜技术。无论是集成电路芯片上的阻挡层薄膜还是铝制饮料罐上的涂层，x射线是研发，产品过程控制和不可缺少的分析技术。作为纳米技术研究，x射线衍射(xrd)和附属技术被用于确定薄膜分子结构的性质。理学的技术和经验为涂层和薄膜测量提供各种无损分析解决方案。
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