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x射线发生装置角度校准的光学新方法

目前x射线发生装置的角度检定和校准测试主要依据jjg 629—1989<多晶x射线衍射仪检定规程>和jb/t 9400—2010等技术文件，具体方法是采用光学经纬仪或多面棱体等进行测试，该测量方法实际应用中存在一定难度，其次测量间隔较大，不能---反映真实的角度误差规律.为此，提出了利用θ角和2θ角同轴并可独立运动的特点，x射线发生装置公司，组合采用光电自准直仪和小角度激光干涉仪等仪器，设计了一种新的xrd的角度校准方法，它能够自动快速地连续测量角度，取k=2时，扩展不确定度约1.2″.使用该方法测试能够得到θ和2θ轴的误差数据，可用于修正xrd测角误差，提高xrd测试精度.该方法也适用于同步辐射等大型衍射系统等其他需要角度校准的情况.

x射线发生装置结构

主要包括三部分：x射线光管、测角仪和检测器。采用应用广泛的cu靶作为x射线源，x射线发生装置，配备pixcel高能检测器，此检测器为固态探测器由65000个像素组成，每个像素的尺寸为55×55微米，每个像素都有独立电路，具有快速读出时间和较高的动态范围：每像素行每秒超过1300万次计数。此外仪器光路系统配备索拉狭缝、防散射狭缝、面罩、单色器等，以使x射线源发射x射线光以单色光源照射样品，而样品产生的衍射光以平行光束达到检测器。

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